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ds ratio

网络释义

  淀积刻蚀比

在半导体业界,淀积刻蚀比(DS ratio)被普遍采用作为衡量HDP CVD工艺填孔能力的指标.淀积蚀刻比的定义是：

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短语

DS-IR spectral ratio 比值

有道翻译

ds ratio

ds比率

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