*2 双重图形 (Double Patterning)是将高密度的电路图形分割为两片低密度的光掩模进行露光处理的方法。
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...终将到来，但在制造上会面临更多挑战，包括阶梯覆盖(step coverage)、FIN尺寸的控制、在多个层上使用双重曝光(double patterning)，甚至需要使用四重曝光等。
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另外，尺寸仅为0.15平方微米的高密度SRAM工艺采用了两次图形曝光(double patterning)的193nm浸润式光刻技术。
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Double Patterning Technology 双重图形技术
All patterns in the standard cells having the second indicator are transferred to a second mask of the double patterning mask set.
以及将所述第二图案组中的图案转印到所述双图案掩模组的第二掩模。
youdao
By putting it into volume production in NAND flash, the company will have gained a deep understanding and will have a very mature process by the time it decides to use double patterning to make the SRAM caches on its processor chips.
FORBES: IMFT: Intel's Billion-Dollar Sandbox
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