...更多的电阻数目和电容寄生效应,所以提取和建模也相应困难很多;还有一些挑战来自更小的几何尺寸,例如双重图形(double pattern),这是20nm及以下工艺为实现正确光蚀/刻蚀必须要有的技术。
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the double pattern 双重模式
double sided pattern plate 双面模型板
The Double Pattern of Conflict 双面冲突
double reflection pattern 双反射图形
double tops and bottoms pattern 双重顶和双重底
double-loop pattern [解剖] 双箕斗
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