检测项目:晶圆边缘的点缺口或线缺口 点缺口(Dot Notch)线缺口(Flat Notch) 检测任务:通过视觉检测,将晶圆(wafer)精确定位,为下一步工序做好准备 原理说明 检测定位是指找到被测...
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dot notch
点切口
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