的重要步骤之一，干蚀刻是一种「非等向性蚀刻(Anisotropic Etching)技术，该技术具有良好的「方向性(Directional Properties)，但是其蚀刻「选择性(或称选择比，Selectivity)则逊于湿蚀刻技术，本案中业界所谓的蚀刻选择性，就是不同物质间蚀刻速率的差异.
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z-directional properties z向性能
thickness directional properties 厚度方向性能
directional radiation properties 定向辐射特性
The window inevitably imparts directional properties.
(计数器的)窗不可避免地具有方向性。
youdao
The robust fault detection filters can ensure that the residual error, generated by this filter, has both robust and directional properties.
鲁棒故障检测滤波器方法使残差既有干扰解耦特性又有方向特性。
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