研究提出了一种基于数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)的并行三维微-纳米轮廓测量方法。该方法将数字微镜器件与共焦测量方法相结合,用数字微镜 .
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基于数字化灰度掩模技术,本文提出了基于数字微镜装置(Digital Micromirror Device,DMD)的旋转掩模曝光技术制作衍射微透镜的新方法。
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一开始，它被称为数位微镜装置(DMD，digital micromirror device)，晶片内包含数千个微小的镜子。这种用显微镜才能看见的微小镜子运动起来以生成一个视讯形象。
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数字微镜装置
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参考来源 - 数字灰度光刻成像物镜设计
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数位微镜装置
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