...建立及其优化 3．1相关生产制程的介绍 3．1．1加热制程 加热制程通常是在高温炉中进行，业内一般称为扩散炉（Diffusion Furnace），因其在早期已被广泛应用于扩散掺杂的制程上。
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thermal diffusion furnace 热扩散炉
horizontal diffusion furnace 卧式扩散炉
single-tube diffusion furnace 单管扩散炉
multiple tube diffusion furnace 多管扩散炉
Two Tubes Diffusion Furnace 双管扩散炉
Digital Control Diffusion Furnace 数位温控扩散炉
DIFFUSION FURNACE COLLARS AND DISCS 扩散炉石英领和石英圆盘 ; 供应扩散炉石英领和石英圆盘
This system is already applied in high temperature oxidation diffusion furnace.
此温度控制系统已经应用于工业用高温氧化扩散炉设备。
参考来源 - 高温氧化扩散炉温控系统设计·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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