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  双离子束溅射沉积

包括IBD薄膜技术基础、离子束溅射沉积(IBSD)薄膜技术研究及应用、双离子束溅射沉积DIBSD)薄膜和薄膜改性方法、离子束反应溅射沉积(IBRSD)薄膜方法、离子束轰击生长薄膜效应及离子束辅助沉积(IBAD)薄膜方法等..

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  • 双离子束溅射

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