对硅微机械谐振 式陀螺仪进行系统、深入的动力学分析，建立了陀螺质量块、双终端音叉谐振器（DETF）的 力学模型，对这两种力学模型的共性及差异进行了详细分析，指出陀螺质量块的驱动模态和检 测模态以及DETF的驱动模态三者的运动...
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...叉谐振器（DETF）驱动模态的第一主振型和第二 主振型谐振频率的表达式，并对模型进行了谐响应分析，得出了双端音叉谐振器（DETF）的固有运 动模态主要有同相模态和反相模态。
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基于一个绝缘体上硅（SOI）技术，根据一个双端音叉（DETF）的几何形状设计的，使用一种新的过程，其中包括适合制造具有低的运动的传感器的间隙变窄的过程的微机械硅MEMS传感器的制造性。
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...谐振结构比较 作者：董景新 曹宇 万蔡辛 胡淏 期刊：《清华大学学报》 2010年11期 硅微谐振式加速度计多采用双端固定音叉（DETF）作为谐振结构,而传统的单根振梁结构也具有其独特优势。
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