在环形腔中加耦合器3(C3)耦合出一 部分光到光电探测器2(Detector2)进行检测。通过探测的光强经过放大器后输入到单片机里进行分析后并 驱动悬臂梁差动调节装置,在悬臂梁上施加相应的压力,以对粘贴...
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