然而，以目前大量使用的深紫外光(deep ultra violet,DUV) 光源而言，所提供之解析 度(resolution) 与光源的波长有关，因此有其极限存在。
基于1个网页-相关网页
deep ultra-violet lithography 深紫外光刻
Deep Ultra-Violet 紫外线 ; 深紫外光 ; 深
DUV Deep Ultra Violet 深紫外
DUV Deep Ultra-Violet 纵深紫外光
deep ultra violet
深紫外线
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动