透明导电层一般是以直流溅镀(DC sputter)沈积法来长膜,当功率不同所得到膜 的特性也有差异,所以重点在于取得导电性与穿 透率的最佳平衡。
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最简单的是直流溅射(DC Sputter),在阴极与基板之间加载直流电压的 溅射方式。DC 溅射设备简单,溅射率高,对基板的损伤较小。
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DC magnetic sputter 直流磁空溅射
dc sputter
直流溅射
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