...或SiNx 的无机绝缘材料形成,或者可以由丙烯酸有机化合物、苯并环丁烯BCB、 全氟环丁垸PFBC、聚四氟乙烯或全氟环状聚合物(Cytop)的有机绝缘 材料形成。
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...具有良好的耐腐蚀性,能起到很好的防腐作用;氟聚合物膜(Aflex)有出色的耐热件,在高温工艺中能有效地抑雾;透明氟聚合物(CYTOP)在对透明材料有刻薄要求的光掩膜防尘涂层和传导光纤制造中也有很好的运用。
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