如申请专利范围第 1 项所述之锚接金属 镶嵌结构，其中在以 碳氟化合物 ( CxFy )进行电浆蚀刻 制程时，该相对较低密度部分比该相对较高密度部分具有一相对较高的蚀刻速率。
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