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cvd-fb

网络释义

  化床

...),一直到近几年Wei等 人提出的将流体化床(fluidized bed)结合化学 气相沉积法(CVD)的方式形成的化学气相沉 积-流体化床(CVD-FB)进而改进成为连续输 出、容易缩放尺度之反应程序[3-5]。

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