本文提出了一个方法简便、易于操作的测试TSV中互连铜(Cu-TSV)的力学性能的单轴微拉伸方法。首先,利用有限元分析优化设计Cu-TSV微拉伸试样的支撑框架结构,有效减小试样在制作及操作过程中的损...
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