... cryopump system 低温泵系统的组成 Cryogenics Cryopump 冷凝泵 cryopump condenser 低温泵冷凝器 ...
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cryopump system
低温泵系统
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By simulating the temperature of the cryopanel and the relation between the pressure and pumping gas speed of the cryopump, it was verified the vacuum system design was rational.
通过对低温泵的真空度及其抽速与液氦低温板温度的关系进行模拟，验证了真空系统设计的合理性。
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