铜大马士革金属化 (copper Damascene metallization) 和低 K 电介质等新材料在检测凹坑缺陷、去除保护层和聚合物、研磨与退火、胶膜附着、线宽变异、应力裂纹等方面带来了挑战。
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copper damascene metallization
铜大马士革金属化
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