... contactgap接触间隙 contacthole接触窗口 tac-treeaccessandcontrol-树形网络的访问与控制 ...
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...工艺如单大马士革工艺或双大马士革工艺的方式来形成沟槽。电介质层可以与器件相邻，从而形成的沟槽可以形成为接触孔(contacthole)。或者，电介质层可以是金属化叠层中的某一层，形成的沟槽可以是贯穿电介质层的通孔或在电介质层平面内延伸的通道。
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