金属矽化物 (Silicide/Salicide): 钴矽化物(Co-silicide) ， 镍矽化物(Ni-silicide) ， (Pt-silicide) ， 牺牲层矽化 技术(Sacrificial silicidation)。 7.
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Self-Aligned Co-Silicide 自行对准硅化物钴
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