实现包括电容式微机械超声换能器(CMUT)，其具有以垂直叠层关系覆盖的额外换能设备。在一些实现中，额外的换能设备是第二CMUT，其被配置成在不同于第一CMUT的频率下工作...
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传统的电容式麦克风的另一种方法是使用电容式微机械超声波换能器（CMUT）膜的一个敏感的无线电频率（RF）的检测方法。的一个典型CMUT膜是自谐振频率几兆赫，声共振频率低于膜响应，从DC到几百千赫，是恒...
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...权威出处： 《仪器仪表学报》2018年08期 河南大学 电容式微机械超声传感器的建模与分析 本文首先对电容式微机械超声传感器(CMUT)的发展进程及研究现状进行了综述,另外对CMUT的设计方法进行了研究,结合等效电路对传感器电学端和机械端的相关参数进行公式推导和...
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