化学汽相沉积化学液相汽化沉积(CLVI) 低压金属有机化学气相沉积 低压等离子体增强化学气相沉积法 化学汽相沉积/拉曼波谱 热壁化学汽相沉积
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1.2.3化学液/气相渗透(CLvI)工艺 CLVI工艺最早由法国原子能委员会(CEA)的研究人员在80年代中期研制 出来并申报专利[4748】。
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化学液相气化渗透(Chemical Liquid Vapor Infiltration)
硅酸盐学报 分类号:TB332 出版年,卷(期):页码:2007,35(3):389-394 摘要: 综合评述了化学液相气化渗透(chemical liquid vapor infiltration,CLVI)法制备炭/炭(C/C)复合材料的研究。概述了CLVI法的工艺特点及其快速致密的原理,并分别从预制体形
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