为了提高晶圆制造的生产率、成品率和节省厂房空间,晶圆制造过程越来越多地应用自动组合设备(Cluster tools)。它们广泛应用于蚀刻、光刻和化学气相沉积等加工过程中[1-5]。
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基于要减少晶圆表面污染、降低 设备成本及降低生产周期以提升产能等的因素，集束 型制程设备(Cluster Tools)的运用，将成为半导体前段 制程设备主要发展趋势。集束型设备中机械手臂扮演 着重要的角色，它负责晶圆在各个模块间传输的动 作。
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集束型装备
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参考来源 - 有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究
自动组合装置
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