...因素， 所以在晶圆 的搬运上， 不能用 一般的端效器（ end-effector） 来做夹持工作； 此外， 由于集结式机台 （ cluster tool） 的工作环境是在真空中 ，因此也无法使用 吸附的方式来固定晶圆， 所以目 前的晶圆 搬运方式是机械臂利用 其末端一爪型平盘上的凸...
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Paint Cluster Weights Tool 绘制簇权重工具
cluster management tool 集群管理工具
cluster-type dkiamond dressing tool 簇状金刚石整修工具
Particularly, the present invention provides a modular processing cell to be used in a cluster tool.
具体地，本发明提供 一种模块化处理单元。
These inputs are needed because in this mode the tool is not using any of the HACMP utilities or commands to get the configured cluster information.
这些输入是必需的，因为在此模式下，该工具未使用任何HACMP实用工具或命令来获取配置的集群信息。
We provide some ideas on sizing a new cluster and conclude with news about a forthcoming workload balancing and capacity planning tool that can help with database distribution.
我们为确定新集群的大小提供一些见解，最后介绍未来的工作负载平衡和容量计划工具，帮助您恰当地分布数据库。
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