...气处理系 统，其中磊晶工序产生的气体采用区域性燃烧式水淋洗涤处理系统（Local Scrubber）+中央喷淋洗涤塔（Central Scrubber）的二级工艺废气处理系统，机台 及设备保养产生的废气采用喷淋洗涤处理系统。在废气处理过程中会产生废水。
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...制效率提升 空污防制效率提升 空污防制效率提升 空污防制效率提升 空污防制效率提升 借由增设 废气处理系统 ( Central Scrubber )， 提升系统备载率 * 主要系统建立不断电系统提升系统稳定度 * 定期清洗更换洗涤塔填充物 * 建立空污异常排放紧急通报机制 * 建...
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...塔循环水达到一定浓缩比时，需进行排水换水(Blow dow n)时，再将这些排水收集起来，再次供应给中央废气洗涤塔(Central Scrubber) 与厕所冲厕使用，有效地将水资源重复使用，即执行二次回收再利用的措施。
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Central Gas Scrubber 中央集气洗涤塔
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