cavity bar
空泡酒吧
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The paths of the corrosive gas can be a hollow cavity formed in the foreign substrate base bar, the hollow cavity and the nitride reacting chamber are separated by the foreign substrates.
所述腐蚀性气体通路可为异质衬底基座杆内形成的中空内腔，该中空内腔和氮化物生长反应腔通过异质衬底隔开。
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