... bulk silicon technology 体硅工艺 bulk silicon wafer 体硅圆片 silicon bulk 硅晶片 ...
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bulk silicon dissolved wafer process 体硅溶解薄片法
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Introduced a new bulk silicon micromaching technology to replace SOI wafer with normal silicon wafer in the application of sidewall electrical connection.
介绍了一种全新的体硅微机械工艺，可以取代SOI硅片而直接在普通硅片上对不同的侧壁电学导通部分进行绝缘。
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