BPSG 来源: 本网站 | 收藏到您的QQ书签 | 加入本地收藏夹 相关: BPSG BPSG 硼磷硅玻璃(boro-phospho-silicate-glass，BPSG): 这是一种掺硼的SiO2玻璃。可采用CVD方法(SiH4+O2+PH3+B2H6，400oC~45
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而且，整个表面可以覆盖有例如二氧化硅、硼硅酸盐玻璃(BSG)、磷硅酸盐玻璃(PSG)或者硼磷硅酸盐玻璃(BPSG)的钝化层(未示出)，该钝化层经过CMP平坦化和蚀刻以提供接触孔，所述接触孔随后经金属化处理以提供触点。
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BPSG Reflow 硼磷玻璃回填
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