1998年国际计量局(BIPM)成立了纳米计量工作组(WGDM7DG),决定组织以下5种类型纳米基准样板的关键量国际比对(Nano 1-5):线宽标准、台阶高度标准、线间隔(线...
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已有九个国家完成量测校正,比对结果将送 国际度量衡局 ( BIPM )作为全 球国家标准实验室相互认可之依据.
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