...管状炉520℃热处理及快速升降温炉500℃热处理试片，计算砷化铝镓基材的晶格常数于(111)的平面方向为5.63å， 铍砷化合物 ( BeAsx )的晶格常数为5.34 å的结果与分析式电子显微镜择区绕射影像、JCPDS卡资料相符，验证其实验结果的正确性。
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