NIL是一种纳米微制造技术,利用该技术,可以将由电子束直写(e-Beam Lithiography)或聚焦离子束(FIB)技术制备的模具的纳米结构通过“印章”的办法转移到基底材质上。
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e-Beam Lithiography 子束直写
beam lithiography
梁lithiography
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