...以该公司领先业界的SpectraFx 200技术为基础,主要采用下一代宽带光谱椭圆偏光法(Broadband Spectroscopic Ellipsometry,BBSE)光学元件,在精密度、匹配度及稳定性等方面匀有显著改善。
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...以该公司领先业界的SpectraFx 200技术为基础,主要采用下一代宽带光谱椭圆偏光法(Broadband Spectroscopic Ellipsometry,BBSE)光学元件,在精密度、匹配度及稳定性等方面匀有显著改善。
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这些量测系统采用 KLA-Tencor 的最新一代宽带光谱椭圆偏光法(Broadband Spectroscopic Ellipsometry,BBSE)光学元件,让芯片制造商能够测量多层薄膜的厚度、折射率与应力来满足先进的薄膜度量要求。
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