FSI在通道刻蚀(via etch)、凹刻蚀(trench etch)、凸刻蚀(barrier etch)清洗和其它表面处理领域的专门技术都可以用于铜和低介电常数(10wk)材料的双镶嵌工艺,这些技术为联盟其他成员的专门技术锦上添花。
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barrier etch
障壁腐蚀
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