...铝焊垫俄歇分析中荷电效应影响及其降低方法收藏本文 分享 0引言俄歇电子能谱仪(Auger electron spectrometer,AES)是目前最重要和最常用的表面和界面分析工具之一[1-3]。AES具有很高的表面灵敏度,其分析深度通常在5 nm以内。
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... 低压输送系统(10-80psi)与低噪音之设计利于活体动物试验 欧杰电子能谱仪 欧杰电子能谱仪（Auger Electron Spectrometer, AES），为微电子业常见的表面分析技术之ㄧ。
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