所述软烘焙处理在110℃的温度下进行60-90秒。将使用汞灯的从g、h、i-线宽波校准器(aligner)中发射出的强度为15mW/cm2的紫外线照射到所述除去溶剂的光致抗蚀剂上。
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... Align调整，校直，定中间 Aligner定位器，校直器，调整器；前轮定位仪 Aligning(torque)stiffness回正(力矩)刚度 ...
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mask aligner 掩模对准器 ; 曝光机
plumb aligner 垂准仪 ; 铅锤对准器
automask aligner 自动掩模对准器
wheel aligner [车辆] 车轮对准器 ; 转向轮定位仪 ; 四轮定位仪 ; 前轮定位器
laser aligner 激光准直仪 ; 激光准直器
optical aligner 光学对准器 ; 光对准曝光器
full wafer aligner 整片对准器
reduction aligner 收缩式投影曝光装置
projection aligner 投影对准曝光器 ; 投影式对准曝光装置
Our company specialized in manufacturing and managing of tyre changer, wheel balancer, aligner, lifter and nitrogen gas machine. Five series and more than twenty models.
本公司主要生产经营各种型号的轮胎拆装机、轮胎平衡机、四轮定位仪、举升机、氮气机等五大系列20多个品种的产品。
The specific parameters of main optical system are deduced from the requirement of pattern transfer for the projection aligner. The limit of these parameters is discussed.
本文从投影光刻机的图形传递要求出发，导出投影光刻机各主要光学系统的具体要求，并讨论这些参数确定的局限性。
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