...月7日 金属硅化物在VLSI/ULSI器件技术中起着非常重要的作用，被广泛应用于源漏极和硅 其中自对准硅化物（self-aligned silicide）工艺已经成为近期的超
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Self-Aligned Silicide 自对准金属硅化物 ; 化物
Method of fabricating self-aligned silicide 发明名称
Self-Aligned Co-Silicide 自行对准硅化物钴
aligned silicide
硅化对齐
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