本节介绍了高温厚铝溅射(Al sputter)时柱状突起缺陷(whisker defect)的产生原因,针对影响柱状突起缺陷的各个因素,进行分析诊断,数据化各因素的影响程度,找出最...
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al sputter
艾尔溅射
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