弹性模组(Compliant Module)之探针头，尖端接触待测物 铝垫 ( Al Pad )，这种接触机构有足够弹性，能保持探针适当的接触力，而不会伤到晶圆上的 铝垫 。
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如何依据现有 铝电极 ( Al Pad )与金线结 合能力的经验，以田口方法找出关键参数。使焊线品质达到最 佳状况。
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al foil pad for stove 铝箔炉垫
al pad
艾尔垫
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If the Al film on the bond pad is pierced through by the probe in wafer probing, the wire bonding strength and device reliability would be affected.
在芯片测试中，若引线焊盘上的铝层被探针扎穿，就会影响引线键合的牢固性和器件的可靠性。
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