【摘要】： 使用除氢、高温成核和低温生长的三段式快速热处理方法，将常规方法制备的氢化非晶硅（a-SiH）薄膜晶化成纳米硅（nc-Si）薄膜．该薄膜在波长为457．9nm的Ar+激光的激发下，在室温发射出蓝绿光．
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