粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI 单位里的级别名称，D : 粒径（um） ***国际单位（Systeme International d’Unites 的缩写） 的洁净度级别（图略） 图 1 ，209E 的洁净度级别（图略） 图中的标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。
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Systeme International d
国际系统
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