Ta205晶核为球形,对于临界晶核的形成速率,别 克(Becker)和道林(Doring)提出了如下关系式[14】: I=z.exp(_鲁) 式中z为常数。 (9) 根据式(9)可知,形核速率随沉积温度的提高呈指 数增长。
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