世界上第一款3D芯片工艺已经准备获取牌照,该工艺来自于无晶圆半导体设计公司BeSang公司。BeSang公司制作的用于演示的芯片在其控制逻辑上使用了1.28亿个垂直晶体管用作内存位单元。该芯片的设计在国家Nanofab中心(韩国大田)和斯坦福Nanofab(美国加州)进行。BeSang公司称,该工艺由25个专利所保护,将允许Flash、DRAM以及SRAM放置在逻辑电路、微处理器以及片上系统上。 BeSang公司声称该公司在底层使用高温处理工艺进行制造逻辑电路,在顶层使用低温工艺来制造内存电路,从而实现了3D芯片。将不同层的逻辑和内存电路放置在同一个芯片中,BeSang的处理工艺在每晶圆中集成了更多的裸片,从而降低了每个裸片的成本。在BeSang,Lee与前三星工程师Junil Park一起,完善了首款真正的3D芯片工艺,后者为第一个用于高K电介质的原子层沉积工具的开发者。因为新的芯片工艺不再堆集裸片,公司称常规的冷却技术就可以工作,因为较厚的3D芯片工艺不会产生格外的热量。