微机电系统（MEMS） 微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems，简称MEMS) 是指利用大规模集成电路制造工艺，经过微米级加工，得到的集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通...
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...： 签字日期：b》1年（＞月l＞日 知 第1章绪论 第1章绪论 1．1课题研究的背景及意义 微机电系统（Microelectromechnical System，MEMS）是--f-j多学科交叉的 新兴学科，涉及微电子、微细加工、微机械、材料学、信息与控制等技术科学， 并...
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MEMS：喷墨的新世界 微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）是一项新兴的技术，但它已经开始从根本上改变喷墨打印头技术。
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介绍了微机电系统当前的进展与发展前景。
微执行器是微机电系统的核心部件，应用范围广泛，具有重要的研究价值。
Micro actuator is the kernel part of MEMS, with wide application range and important research value.
介绍了微机电系统的基本概念和医用微机电系统的应用前景及其关键技术。
This paper presents the basic concept of the microelectronic mechanical system (MEMS), its future applications in medical fields and its key technologies.
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