当前硅微机械加工技术可分为表面微加工（Surface Micromachining）与体微加工技术（BulkMicromachining），硅微加工技术的特点是与Ic兼容，易于 集成化。
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表面微加工 Surface Micromaching
表面微加工技术 Surface Micromachining
面型微加工技术 surface micromachining
萨克森呢面微茸加工 Saxony finish
表面微机械加工 surface micromachining
面微加工
Surface micro-processing
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