null面型微加工技术（Surface micromachining）面型微加工技术（Surface micromachining）是比较靠近原本积体电路半导体制程的作法 。 主要是利用蒸镀、溅镀或化学沉积方法，将多层薄膜叠合而成。
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面型微加工技术
Surface micro-processing technology
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基于体硅微加工技术设计并制作了一种新型的采用静电驱动的连续面型可变形反射镜。
A novel electrostatic actuated deformable mirror with continuous facet is designed and fabricated by using silicon bulk micromachining technology.
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