面型微加工技术 surface micromachining
面型微加工
Micro-machining of surface shapes
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基于体硅微加工技术设计并制作了一种新型的采用静电驱动的连续面型可变形反射镜。
A novel electrostatic actuated deformable mirror with continuous facet is designed and fabricated by using silicon bulk micromachining technology.
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