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surface irregularity
... surface hardness；表面硬度 surface irregularity；表面不平度 surface level；表面等级 ...
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短语
接触表面不平度
contacting surface asperity
硅片表面不平度
Wafer flatness
工程地表面不平度测量
Measurement of Ground Surface Roughness on Engineering
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surface irregularity
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参考来源 - 大型靶材表面检测系统研究
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surface irregularity
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