衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。
关键词 ： 衍射光学元件；折 /衍混合光学系统；消热差设计 [gap=905]Key words： diffractive optical elements； refractive/diffractive hybrid optical； athermalization design
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DO: Diffractive Optics(衍射光学元件)的缩写，只适用于衍射光学中。变焦镜头越到望远段，色差现象就越严重，要矫正这个问题，就必须使用大镜头。
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多层衍射光学元件 DOMulti- Layer Diffractive Optical Element ; MLDOE
二元衍射光学元件 binary diffractive optical element
衍射光学元件方法 Diffraction-Optical Elements ; DOE
用衍射光学元件 Diffractive Optical Elements ; DOE
采用衍射光学元件 Diffractive Optical Elements ; DOE
的衍射光学元件 DOE ; DiffractiveOpticalElements
利用衍射光学元件 Diffractive Optical Elements
菲涅耳型衍射光学元件 Fresnel diffractive optical element
本文使用衍射光学元件来提高激光束的焦深。
Focal depth of laser beam is advanced by diffraction optical element in this paper.
用电子束逐行扫描方法刻蚀衍射光学元件的浮雕结构精度高而速度低。
The relief structure of diffraction optical element can be written precisely but very slowly with the raster scan mode bye-beam.
最后，对全息透镜和折射透镜的色散特性进行了比较，得到衍射光学元件的等效色散系数。
Finally, the chromatic dispersive characteristics of holographic lens and refractive lens are compared, and the effective chromatic coefficient of holographic lens is given.
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