... 蚀刻速率;etching rate 蚀刻曲线;etching curve 蚀刻气体;etching gases ...
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蚀刻曲线
Etching curve
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etching curve 表征固体核径迹探测器被化学蚀刻蚀去的厚度与垂直入射带电粒子径迹半径的变化关系。典型的蚀刻曲线呈平缓变化的S形曲线，但其前段呈线性。
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