srg process
... 自对准栅金属氧化物半导体：sagmos 自对准栅工艺：srg process 自对准栅场效应晶体管：self aligned gate fet ...
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硅栅自对准工艺 [电子] silicon gate self-aligned technology
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但是目前自对准的双栅MOSFET的工艺制作相当困难。
But the fabrication of self aligned double gate MOSFET is too complicated.
youdao
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